HORIBA堀場(chǎng)制作所 新型壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器SEC-Z714SMG

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更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測(cè)量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng)。典型的多腔室氣體管線具有管線調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動(dòng)引起的質(zhì)量流量控制器串?dāng)_現(xiàn)象。SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩(wěn)定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。

基本特征

• 多氣體/多量程功能，客戶可以更改氣體類型和滿量程流量

• 穩(wěn)定控制氣流，不受上流和下流壓力波動(dòng)的影響

• 集成多重顯示

• 超潔凈設(shè)計(jì)：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）

• 尺寸緊湊，50 SLM 以內(nèi)采用相同的安裝尺寸

• 信號(hào)兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式

主要特征

• 確保 1% 設(shè)定點(diǎn)精度（流量≥5%）

• 高重復(fù)性（≤±0.15% 設(shè)定點(diǎn)/流量≥5%）

• 范圍控制廣（0.5-100% 滿量程）

• 可調(diào)響應(yīng)（300ms≤t≤1000ms）

• 高操作溫度（15-60℃）

• 低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）

• 高耐腐蝕性設(shè)計(jì)