HORIBA堀場(chǎng)制作所 數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì) LF-F40M-A

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LF-F 和 LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器采用珀?duì)柼鋮s液體，而非更常見的熱交換方法。該技術(shù)消除了低沸點(diǎn)化學(xué)物質(zhì)沸騰的風(fēng)險(xiǎn)，從而實(shí)現(xiàn)更**的化學(xué)控制。

概要

• 提供微升至超低流量控制

• 實(shí)現(xiàn)低沸點(diǎn)和高粘度液體材料的**流量控制

• 超潔凈設(shè)計(jì)

測(cè)量技術(shù)

冷卻測(cè)量方法
該系列液體質(zhì)量流量控制器中的流量傳感器由與毛細(xì)管接觸的電子冷卻元件（珀?duì)柼┮约皫讉€(gè)溫度檢測(cè)元件組成。當(dāng)液體流動(dòng)時(shí)，傳感器檢測(cè)對(duì)應(yīng)流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測(cè)量低沸點(diǎn)液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，使**的流量測(cè)量成為可能。

結(jié)構(gòu)/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列質(zhì)量流量計(jì)采用相同的測(cè)量原理。LV-F 系列還配備一個(gè)壓電閥和一個(gè)內(nèi)部比較控制回路。對(duì)流量設(shè)定信號(hào)和流量輸出信號(hào)進(jìn)行比較，并自動(dòng)控制閥門孔徑，使兩個(gè)信號(hào)匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統(tǒng)，不會(huì)因外部因素而導(dǎo)致流量變化，因此確保了穩(wěn)定和**的控制。

配置