HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計D717T

HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計D717T

HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計D717T

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D700T是性能*佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊，專為關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝而設(shè)計。D700T采用HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，提供行業(yè)**的可重復(fù)和**的性能。此外，D700T的獨特之處在于采用**的先進流量控制算法和雙閥結(jié)構(gòu)，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多種挑戰(zhàn)。

概要

≤100msec全線快速穩(wěn)定時間（可設(shè)為“設(shè)置”、“升壓”、“降壓”）

進出口壓力不敏感性能

先進的故障檢測，診斷壓力傳感器移位，閥座泄漏和流量精度變化

在0.15%標(biāo)準(zhǔn)價格范圍內(nèi)可重復(fù)性

*佳精度規(guī)格在0.45% S.P.以內(nèi)*（標(biāo)準(zhǔn)：0.8% S.P.）

更寬的工作溫度范圍（15-60°C）

*注：D700T為單氣體配置。向堀場詢問規(guī)格。

配置