HORIBA堀場(chǎng)制作所  壓差式質(zhì)量流量控制器D514MG+3 /D517MG+4

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更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

這款技術(shù)先進(jìn)的壓差式質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測(cè)功能和壓電驅(qū)動(dòng)閥。

高性能 CRITERION D500 適用于一系列先進(jìn)的半導(dǎo)體制程，具有壓力補(bǔ)償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能，高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點(diǎn)。

概要

• 壓力不敏感性能
  高性能壓力補(bǔ)償新功能簡化了供氣系統(tǒng)

• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

• G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能
  先進(jìn)的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。

• 高精度
  先進(jìn)的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度

• 快速響應(yīng)
  響應(yīng)時(shí)間：< 0.8 秒
  可實(shí)現(xiàn)**、穩(wěn)定的流量控制

• 動(dòng)態(tài)范圍
  控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

配置