HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀MICROPOLE

HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀MICROPOLE

HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀MICROPOLE

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• 輕型緊湊尺寸
  尺寸僅為傳統(tǒng)殘余氣體分析儀的 1/20，易于集成到任何系統(tǒng)中

• 高性能
  9 個四極桿的微型陣列體積僅為傳統(tǒng)四極桿體積的一小部分，可提供出色的靈敏度

• 高壓操作
  可在高達(dá) 0.9Pa（7mTorr，9×10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應(yīng)用中昂貴的真空泵

• 校準(zhǔn)中可互換的傳感頭
  傳感頭在裝運(yùn)前經(jīng)過預(yù)調(diào)和預(yù)校準(zhǔn)，允許用戶在現(xiàn)場進(jìn)行傳感器更改，而無需微調(diào)或使用專業(yè)技術(shù)

• 網(wǎng)絡(luò)傳感器
  使用 RS-485 可讓一臺電腦監(jiān)控高達(dá) 8 個傳感器。這些系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控

• 用戶友好軟件
  Micropole Scanner? 軟件允許用戶以各種模式監(jiān)測氣體分壓，例如趨勢圖、模擬圖、泄漏模式、條形圖、3D 圖等

• 監(jiān)測儀控制器
  選配的監(jiān)測儀控制器可用于直接安裝在光譜發(fā)生器上的真空室，用戶無需電腦即可監(jiān)控真空室

測量原理

體監(jiān)測儀由離子源、質(zhì)譜儀和測量部分組成。當(dāng)殘余氣體與高溫?zé)艚z釋放的熱電子碰撞時，殘余氣體被電離，由此產(chǎn)生的離子加速并匯聚到質(zhì)譜儀上。在質(zhì)譜儀中，直流和交流電壓被施加到四個圓柱形電極（四極桿）上，通過質(zhì)量來分離離子。分離的離子被法拉第杯檢測為電流。離子電流與殘余氣體的質(zhì)量（分壓）成正比。

MICROPOLETM 分析儀

MICROPOLETM 系統(tǒng)的特點(diǎn)之處就在于其采用 MICROPOLETM 分析儀（MPA）；九個四極桿的陣列充分利用超精密光學(xué)蝕刻加工技術(shù)和玻璃/金屬接合技術(shù)。MPA 的研發(fā)成功制造了殘余氣體分析儀，同時提供與傳統(tǒng)大型質(zhì)譜儀相同或更好的靈敏度。該分析儀是一個插件。它配有一個已針對分壓進(jìn)行校準(zhǔn)的傳感器單元，并提供總壓和分壓測量。