HORIBA堀場制作所 電容壓力計
- 產(chǎn)品名稱:HORIBA堀場制作所 電容壓力計
- 產(chǎn)品型號:VG-200
- 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場制作所
- 產(chǎn)品文檔:
HORIBA堀場制作所 電容壓力計
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
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VG 系列電容式壓力計尺寸緊湊,采用全金屬設(shè)計,可選配自動溫度調(diào)節(jié)功能。
概要
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緊湊型自加熱設(shè)計
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電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性
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鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性
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設(shè)定點(diǎn)輸出(2 點(diǎn))
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警報輸出
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通過專用軟件調(diào)整量程
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一鍵歸零
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電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電
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符合 CE 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)論文
電容薄膜真空計研發(fā) (1.3MB)
摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體,而制程壓力對產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大,因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計。為滿足這些要求,HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計“VG-200 系列”,性能評估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評估結(jié)果。"