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容器組件

HORIBA堀場(chǎng)制作所 雙通道高精度HF濃度計(jì)

  • 產(chǎn)品名稱(chēng):HORIBA堀場(chǎng)制作所 雙通道高精度HF濃度計(jì)
  • 產(chǎn)品型號(hào):HF-SP-CU
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:HORIBA堀場(chǎng)制作所
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HORIBA堀場(chǎng)制作所 雙通道高精度 HF 濃度計(jì)HF-SP-CU

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的詳細(xì)介紹

HORIBA堀場(chǎng)制作所  雙通道高精度 HF 濃度計(jì)HF-SP-CU

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高精度、高性能的 HF 濃度計(jì)支持 +/- 2.0 ppm(*高精度)微制程管理、高速采樣和輸出、雙通道傳感器和傳感器內(nèi)壓力校正功能。
適用于半導(dǎo)體精細(xì)制程控制。

概要

  • 高精度:+/- 2.0 ppm(*高精度)

  • 高速采樣和輸出

  • 雙通道傳感器實(shí)現(xiàn)了對(duì)供料槽和腔體的測(cè)量

  • 傳感器內(nèi)壓力校正功能


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